高效过滤器检漏设备主要通过测试过滤器的漏风情况，以保证过滤器的工作效果。设备主要包括两个部分：检测仪和测试盘。检测仪通过测试盘上的漏洞是否被正确安装来检测过滤器漏风情况。

ZR-6012型洁净室检测仪器适用于三方检测公司、制药企业、计量检定单位等开展高效过滤器系统的现场检测。实现三级用户管理与审计追踪功能，保证数据完整性。

ZR-6012型气溶胶发生装置是基于Mie散射原理设计的，是高效过滤器检漏设备。基于上游检测浓度以及对下游浓度的扫描检测，可实时获取高效过滤器的泄漏率。适用于三方检测公司、制药企业、计量检定单位等开展高效过滤器系统的现场检测。

ZR-1300A型气溶胶发生器是利用Laskin喷嘴产生PAO、DOP、DOS气溶胶的专用仪器，内置调节阀可选择采用4/10个喷嘴工作，输出的气溶胶浓度在(1.4～56.6)m3/min空气流量下，可以达到(100～10)μg/L，气溶胶性能指标符合相关国家标准，适用于医疗器械检验所、疾病预防控制中心、医院、制药企业、高效过滤器生产厂家等对洁净室及高效过滤器的检漏。

气溶胶发生器,ZR-1320型气溶胶发雾混匀装置通过气溶胶发生系统对发生量进行控制，并经过稀释、扩散和混匀的方式达到目标浓度，具有气溶胶发生和混匀功能，可发生高低浓度可控、混合均匀的气溶胶；为精密气溶胶光度计校准提供稳定均匀的气溶胶，解决仪器溯源问题。